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クリーンルーム川崎NS420

NSシリーズロボットNS420(ダブルアーム)クリーンルーム用に設計されたロボットで、追加のFOUP範囲で任意の長さの直線軸を使用してRTZ移動が可能です。 300mmウェーハの取り扱いにおいて高い性能を発揮します。ソフトウェアとハ​​ードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
D61コントローラの仕様
主な仕様
 
軸数:4
ISO Clase 2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
Y軸(走行JT1):2フープ:660mm / 3フープ:1,070mm / 4フープ:1,670mm
θ軸(回転JT2):325°
Z軸(上下JT3):380 mm
X軸(上下JT4):X1:646.8mm、X2:646.8mm
F軸(回転JT5): -
 
ロボットアプリケーション
 
クリーンルーム

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設計図