0
Ask for quote

クリーンルーム川崎NS510

クリーンルーム用に設計されたNSシリーズロボットNS510(シングルアーム)(RTZ移動可能)、オプションの長さのリニア軸付き、追加のFOUPレンジ。 300mmウェーハの取り扱いにおいて高い性能を発揮します。ソフトウェアとハ​​ードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、 健康と安全
SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
D61コントローラの仕様
主な仕様
 
軸数:3
ISOクラス2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
Y軸(旅行JT1): -
θ軸(回転JT2):360°
Z軸(上下JT3):440 mm
X軸(上下JT4):598 mm
F軸(回転JT5): -
 
ロボットアプリケーション
 
クリーンルーム

Awaiting more stock

写真
設計図