Les robots de la série NT conçus pour l'application en salle blanche peuvent atteindre jusqu'à quatre FOUP, le robot à double bras NT520 offre une performance standard de 280 wafers par heure (WPH) avec aligneur et 400 WPH sans aligneur. Le logiciel et le matériel sont équipés de fonctions de détection de collisions et sont conformes aux normes d'exonération de la tension d'affaissement SEMI F47 et aux normes d'environnement, de santé et de sécurité SEMI S2.
Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, empreinte compacte, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales, santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécifications du contrôleur D60
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 7 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 1 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 16 canaux maximum.
- Signal de sortie: Maximum de 8 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Principales spécifications
Nombre d'axe: 5
L maximum portée: 1 280 mm
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
Plage de mouvement (°)
Axe θ1 (rotation JT2): 340 °
Axe Z (JT3 haut-bas): 470 mm
Axe θ2 (rotation JT4): 340 °
Axe H1 (rotation JT6): 340 ° (380 °) como opción
Axe H2 (rotation JT7): 380 °
Applications de robot
Chambre propre
