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Sala limpa Kawasaki NS510

Os robôs da série NS projetados para a aplicação da sala limpa NS510 (braço único) com movimento RTZ com comprimentos opcionais de um eixo linear para uma gama FOUP adicional. Eles fornecem alto desempenho no manuseio de wafers de 300mm. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.

Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais , saúde e segurança
SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificação do controlador D60
Especificação do controlador D61
Especificações principais
 
Número de eixos: 3
ISO Classe 2
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
 
Gama de movimento (°)
 
Eixo Y (viagem JT1): -
Eixo θ (rotação JT2): 360 °
Eixo Z (down-down JT3): 440 mm
Eixo X (up-down JT4): 598 mm
Eixo F (rotação JT5): -
 
Aplicações de robô
 
Quarto limpo

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