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Kawasaki cleanroom NT520

Os robôs da série NT projetados para a aplicação da sala limpa podem atingir até quatro FOUPs, o robô de braço duplo NT520 fornece desempenho padrão de 280 wafers por hora (WPH) com alinhador e 400 WPH sem alinhador. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.

Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais, Saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificações do controlador D60
Especificações principais
 
Número de eixos: 5
Alcance máximo 1: 1.280 mm
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
 
Gama de movimento (°)
 
Eixo θ1 (rotação JT2): 340 °
Eixo Z (down-down JT3): 470 mm
Eixo θ2 (rotação JT4): 340 °
Eixo H1 (rotação JT6): 340 ° (380 °) como opção
Eixo H2 (rotação JT7): 380 °
 
Aplicações de robô
 
Quarto limpo

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