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Salle blanche Kawasaki NS410

Robots série NS conçus pour l'application salle blanche NS410 (bras uniquement) avec mouvement RTZ avec longueurs optionnelles d'un axe linéaire pour une plage FOUP supplémentaire. Ils offrent des performances élevées dans la manipulation de plaquettes de 300 mm. Le logiciel et le matériel sont équipés de fonctions de détection de collision et sont conformes aux normes d'exonération de tension SEMI F47 et aux normes environnementales, sanitaires et de sécurité SEMI S2.

Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
Spécification du contrôleur D61
Principales spécifications
 
Nombre d'axe: 3
ISO Classe 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
 
Plage de mouvement (°)
 
Axe Y (course JT1): 2 FOUPE: 660 mm / 3 FOUPE: 1 070 mm / 4 FOUPE: 1 670 mm
axe θ (rotation JT2): 380 °
Axe Z (JT3 haut-bas): 380 mm
Axe X (JT4 haut-bas): 710 mm
Axe F (rotation JT5): -
 
Applications de robot
 
Chambre propre

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Photos
Diagrammes