0
Ask for quote

Temiz oda Kawasaki NS410

NS serisi robotlar, NS410 temiz oda uygulaması için tasarlanmıştır (yalnızca kol), ilave bir FOUP aralığı için isteğe bağlı uzunluklarda doğrusal bir eksene sahip RTZ hareketi vardır. 300 mm'lik wafer'lerin taşınmasında yüksek performans sağlarlar. Yazılım ve donanım çarpışma algılama işlevleriyle donatılmıştır ve SEMI F47 gerilimden arındırma standartlarına ve SEMI S2 çevre, sağlık ve güvenlik standartlarına uygundur.

Denetleyici D
D denetleyicileri, komple bir dijital servo işlemi, standart Ethernet iletişim portu, kompakt ayak izi, farklı yazılımların esnek geliştirilmesi, iki kol ve çok eksenli kontrollerin bağımsız çalışması, tüm eksenler için üniform servo amplifikatörler, standartlar çevresel standartlar içeren temiz oda uygulamaları geliştirmek üzere tasarlanmıştır. , sağlık ve güvenlik SEMI S2, beyaz oda ISO 1.
D60 kontrolörünün özellikleri
D61 kontrol cihazının özellikleri
Ana spesifikasyonlar
 
Eksen sayısı: 3
ISO Clase 2
Tekrarlanabilirlik: ± 0.1 mm (gofret merkezi)
Denetleyici: D60 / D61
 
Hareket aralığı (°)
 
Y ekseni (JT1 seyahat): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm / 4 FOUP: 1,670 mm
θ ekseni (dönüş JT2): 380 °
Z ekseni (yukarı-aşağı JT3): 380 mm
X ekseni (yukarıya-aşağı JT4): 710 mm
F ekseni (dönüş JT5): -
 
Robot uygulamaları
 
Temiz oda

Yok

Pictures
Diagrams