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川崎NS420

NS系列机器人设计用于洁净室应用NS420(双臂),带RTZ运动,可选长度为线性轴,用于额外的FOUP范围。它们在处理300mm晶圆时提供了高性能。软件和硬件配备了碰撞检测功能,并符合SEMI F47电压无罪标准和SEMI S2环境,健康和安全标准。

控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的占地面积,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,全轴统一伺服放大器,标准环境,健康安全SEMI S2,白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
D61控制器的规格
主要规格
 
轴数:4
ISO Class 2
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
 
运动范围(°)
 
Y轴(行程JT1):2 FOUP:660mm / 3 FOUP:1,070mm / 4 FOUP:1670mm
θ轴(旋转JT2):325°
Z轴(上下JT3):380毫米
X轴(上下JT4):X1:646.8mm,X2:646.8mm
F轴(旋转JT5): -
 
机器人应用
 
整理房间

无现货

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