0
Demande de devis

Salle blanche Kawasaki NS510

Robots série NS conçus pour l'application en salle blanche NS510 (bras unique) avec mouvement RTZ avec des longueurs optionnelles d'un axe linéaire pour une plage FOUP supplémentaire. Ils offrent des performances élevées dans la manipulation de plaquettes de 300 mm. Le logiciel et le matériel sont équipés de fonctions de détection de collision et sont conformes aux normes d'exonération de tension SEMI F47 et aux normes environnementales, sanitaires et de sécurité SEMI S2.

Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité
SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
Spécification du contrôleur D61
Principales spécifications
 
Nombre d'axe: 3
Classe ISO 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
 
Plage de mouvement (°)
 
Axe Y (déplacement JT1): -
axe θ (rotation JT2): 360 °
Axe Z (JT3 haut-bas): 440 mm
Axe X (JT4 haut-bas): 598 mm
Axe F (rotation JT5): -
 
Applications de robot
 
Chambre propre

En attente de plus de stock

Photos
Diagrammes