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川崎クリーンルームNT410

シングルアームNT410クリーンルームアプリケーション用に設計されたNTシリーズロボットは、アライナなしで400時間(WPH)の時間当たり280枚の標準性能を提供する最大4つのFOUPを達成することができます。ソフトウェアとハ​​ードウェアには衝突検出機能が装備されており、SEMI F47電圧サグイミュニティ規格とSEMI S2環境安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準イーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、すべての軸のための均一なサーボアンプ、標準的な環境、安全衛生SEMI S2、ISO 1ホワイトルーム。
D60コントローラの仕様
  • サーボ完全デジタルシステム
  • 制御軸:最大7軸
  • 手動、半自動、全自動ティーチング。
  • 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
  • ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
  • ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
  • エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
  • 入力信号:最大16チャンネル。
  • 出力信号:最大8チャンネル
  • 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
  • サーボ完全デジタルシステム
  • 制御軸:最大12軸
  • 手動、半自動、全自動ティーチング。
  • 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
  • ハードウェア:RS232C x 2イーサネット。
  • ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
  • エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
  • 入力信号:最大96チャンネル
  • 出力信号:最大80チャンネル
  • 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
 
軸数:4
最大到達距離:1,230 mm
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
θ1軸(回転JT2):340°
Z軸(上下JT3):400 mm
θ2軸(回転JT4):340°
H1軸(回転JT6):340°(380°)
H2軸(回転JT7): -
 
ロボットアプリケーション
 
クリーンルーム

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設計図