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川崎 Kawasaki Cleanroom NT420

クリーンルーム用に設計されたNTシリーズロボットは最大4台までのFOUPに対応できます.NT420ダブルアームロボットは、アライナなしで1時間あたり280枚(WPH)、アライナなしで400枚のWPHの標準性能を提供します。ソフトウェアとハ​​ードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準イーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、すべての軸のための均一なサーボアンプ、標準的な環境、安全衛生SEMI S2、ISO 1ホワイトルーム。
D60コントローラの仕様
D61コントローラの仕様
主な仕様
 
軸数:5
最大到達距離:1,280 mm
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
θ1軸(回転JT2):340°
Z軸(上下JT3):400 mm
θ2軸(回転JT4):340°
H1軸(回転JT6):340°(380°)
H2軸(回転JT7):340°
 
ロボットアプリケーション
 
クリーンルーム

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設計図