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川崎 Kawasaki cleanroom NT520

为洁净室应用而设计的NT系列机器人可以达到4个FOUP,NT520双臂机器人提供了每小时280个晶片(WPH)和对准器的标准性能,以及400个无定位器的WPH。软件和硬件均具有碰撞检测功能,并符合SEMI F47电压暂降无损标准和SEMI S2环境,健康和安全标准。

控制器D
D控制器旨在开发洁净室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的尺寸,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,所有轴的统一伺服放大器,标准环境,健康和安全SEMI S2,ISO 1白色房间。
D60控制器的规格
主要规格
 
轴数:5
最大达到:1,280毫米
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
 
运动范围(°)
 
θ1轴(旋转JT2):340°
Z轴(上下JT3):470毫米
θ2轴(旋转JT4):340°
H1轴(旋转JT6):340°(380°)comoopción
H2轴(旋转JT7):380°
 
机器人应用
 
整理房间

无现货

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