NX510 - это робот с жесткой структурой, который может легко достигать ступеней пластин с ограниченным пространством, а также FOUP в произвольных положениях. может использоваться с 2 или 3 FOUP без дорожки, соответствует стандартам ISO Class 1, стандартной SEMI-F47 системы немедленного решения проблемы падения напряжения и перезапуска автоматической системы при восстановлении напряжения, стандартная защита SEMI-S2 для окружающей среды и личной безопасности, системы противодействия столкновениям, высокой линейности, позиционирования и высокой точности.
Контроллер D
D предназначены для разработки приложений для чистых помещений, включающих полный цифровой сервопривод, стандартный Ethernet-порт связи, компактную площадь, гибкую разработку различного программного обеспечения, независимую работу двух плеч и многоосевых элементов управления, унифицированные сервоусилители для всех осей, стандарты для окружающей среды , здоровье и безопасность SEMI S2, белая комната ISO 1.
Спецификация контроллера D60
- Серво цифровая система
- Управляемые оси: максимум 7 осей
- Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
- Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
- Оборудование: RS232C x 1 Ethernet.
- Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
- Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Входной сигнал: максимум 16 каналов.
- Выходной сигнал: максимум 8 каналов
- Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Спецификация контроллера D61
- Серво цифровая система
- Управляемые оси: Максимум 12 осей
- Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
- Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
- Оборудование: RS232C x 2 Ethernet.
- Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
- Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Входной сигнал: Максимум 96 каналов
- Выходной сигнал: максимум 80 каналов
- Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Основные технические характеристики
Количество осей: 4
Класс ISO 1
Ссылка: 2
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
Диапазон движения (°)
ось θ
(вращение JT2) |
330 ° |
| 440 мм |
Ось Z
(вверх JT3) |
832 мм |
| 336 ° |
Ось X
(вход / выход JT4) |
|
Ось W - нижняя
(вращение JT6) |
- |
W - верхняя
(вращение JT7) |
|
Приложения для роботов
Чистая комната
