Le NX520 avec 2 maillons, structure rigide à double bras qui peut facilement atteindre les étages de la plaquette avec un espace haute performance de 200 plaquettes par heure (WPH) de FOUP à l'aligneur, puis à la scène avec un manipulateur à bras double, répond aux normes de classe ISO 1, système standard SEMI-F47 de solution immédiate à la chute de tension et redémarrage du système automatique lorsque la tension est rétablie, protection de l'environnement standard SEMI-S2, sécurité personnelle, système anti-collision.
Contrôleur D
Les contrôleurs D sont conçus pour développer des applications en salle blanche comprenant un processus d'asservissement numérique complet, port de communication Ethernet standard, encombrement réduit, développement flexible de différents logiciels, fonctionnement indépendant de deux bras et commandes multi-axes, servoamplificateurs uniformes pour tous les axes, normes environnementales , santé et sécurité SEMI S2, salle blanche ISO 1.
Spécification du contrôleur D60
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 7 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 1 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 16 canaux maximum.
- Signal de sortie: Maximum de 8 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Spécification du contrôleur D61
- Système numérique complet Servo
- Axes contrôlés: maximum 12 axes
- Enseignement manuel, semi-automatique, entièrement automatique.
- Arrêt d'urgence externe, proche de la sécurité, arrêt externe.
- Matériel: RS232C x 2 Ethernet.
- Logiciel: K-Utility (commande de communication Kawasaki originale pour robots propres).
- Energie: Tension: monophasée, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Signal d'entrée: 96 canaux maximum
- Signal de sortie: Maximum de 80 canaux
- Série de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX et NV
Principales spécifications
Nombre d'axe: 5
Classe ISO 1
Lien: 2
Répétabilité: ± 0,1 mm (centre de la plaquette)
Contrôleur: D60 / D61
Plage de mouvement (°)
axe θ
(rotation JT2) |
330 ° |
| 440 mm |
Axe z
(JT3 haut-bas) |
832 mm |
| 336 ° |
Axe X
(in / out JT4) |
|
Axe W - inférieur
(rotation JT6) |
336 ° |
Axe W - supérieur
(rotation JT7) |
|
Applications de robot
Chambre propre
