Il robot articolato orizzontale telescopico modello TT220 fa parte della serie TT caratterizzata dalla robusta base telescopica, che consente una maggiore velocità nelle posizioni alte e basse e la sua capacità di accedere fino a 4 FOUP. Ha un design a doppio braccio e pinze che ottimizzano velocità e prestazioni. Conforme allo standard SEMI-F47, soluzione immediata alla caduta di tensione e al riavvio del sistema automatico al ripristino della tensione, protezione SEMI-S2 standard per l'ambiente, sicurezza personale e sistema anti-collisione.
Controller D
I controller D sono progettati per lo sviluppo di applicazioni clean room comprendenti un processo servo digitale completo, porta di comunicazione Ethernet standard, footprint compatto, sviluppo flessibile di software diversi, funzionamento indipendente di due bracci e controlli multiasse, servoamplificatori uniformi per tutti gli assi, standard ambientali , salute e sicurezza SEMI S2 e stanza bianca ISO 1.
Specifiche del controller D60
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 7 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 16 canali.
- Segnale di uscita: massimo di 8 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifica del controller D61
- Servo sistema digitale completo
- Assi controllati: massimo 12 assi
- Insegnamento manuale, semi-automatico, completamente automatico.
- Arresto di emergenza esterno, sicurezza vicina, fermata esterna.
- Hardware: Ethernet RS232C x 2.
- Software: K-Utility (comando di comunicazione originale Kawasaki per robot puliti).
- Energia: Tensione: monofase, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Segnale di ingresso: massimo 96 canali
- Segnale in uscita: massimo 80 canali
- Serie di robot compatibili: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Specifiche principali
Numero di assi: 5
Portata massima: 1.230 mm
Ripetibilità: ± 0,1 mm (centro wafer)
Regolatore: D60 / D61
Classe ISO 1
Intervallo di movimento (°)
θ eje (rotazione JT2): 340 °
Asse Z (JT3 su-giù): 740 mm
asse θ (rotazione JT4): 340 °
Asse H1 (rotazione JT6): 340 ° (380 °)
Asse H2 (rotazione JT7): 340 ° (380 °)
Applicazioni robot
Camera pulita
