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Reinraum Kawasaki NS510

Roboter der NS-Serie für die Reinraumanwendung NS510 (einarmig) mit RTZ-Bewegung mit optionalen Längen einer Linearachse für einen zusätzlichen FOUP-Bereich. Sie bieten eine hohe Leistung bei der Handhabung von 300-mm-Wafern. Die Software und Hardware sind mit Kollisionserkennungsfunktionen ausgestattet und entsprechen den Spannungsfreiheitsstandards SEMI F47 und SEMI S2 Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsstandards.

Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit
SEMI S2, Weißraum ISO 1.
Spezifikation des D60-Controllers
Spezifikation des D61-Controllers
Hauptspezifikationen
 
Anzahl der Achsen: 3
ISO-Klasse 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
 
Bewegungsbereich (°)
 
Y-Achse (Verfahrweg JT1): -
θ-Achse (Drehung JT2): 360 °
Z-Achse (Auf-Ab-JT3): 440 mm
X-Achse (Auf-Ab-JT4): 598 mm
F-Achse (Drehung JT5): -
 
Roboteranwendungen
 
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