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Kawasaki Cleanroom NT420

Roboter der NT-Serie für die Reinraumanwendung können bis zu vier FOUP erreichen, der NT420 Doppelarmroboter bietet eine Standardleistung von 280 Wafern pro Stunde (WPH) mit Aligner und 400 WPH ohne Aligner. Die Software und Hardware sind mit Kollisionserkennungsfunktionen ausgestattet und entsprechen den Spannungsfreiheitsstandards SEMI F47 und SEMI S2 Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsstandards.

Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraum-Anwendungen zu entwickeln, die einen vollständigen digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung unterschiedlicher Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen, Standards Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, ISO 1 Reinraum.
Spezifikationen des D60-Controllers
Spezifikation des D61-Controllers
Hauptspezifikationen
 
Anzahl der Achsen: 5
Maximale Reichweite: 1.280 mm
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
 
Bewegungsbereich (°)
 
θ1 Achse (Drehung JT2): 340 °
Z-Achse (Auf-Ab-JT3): 400 mm
θ2-Achse (Drehung JT4): 340 °
H1-Achse (Rotation JT6): 340 ° (380 °) como opción
H2-Achse (Drehung JT7): 340 °
 
Roboteranwendungen
 
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