クリーンルーム川崎NS411

NSシリーズロボットはクリーンルームアプリケーション向けに設計されており、追加のFOUP範囲のための任意の長さの直線軸を備えたRTZ動作のNS411(フラップ付シングルアーム)です。 300mmウェーハの取り扱いにおいて高い性能を発揮します。ソフトウェアとハ​​ードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
サーボ完全デジタルシステム
制御軸:最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
入力信号:最大16チャンネル。
出力信号:最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
サーボ完全デジタルシステム
制御軸:最大12軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア:RS232C x 2イーサネット。
ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
入力信号:最大96チャンネル
出力信号:最大80チャンネル
対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
 
軸数:4
ISOクラス2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
Y軸(走行JT1):2フープ:660mm / 3フープ:1,070mm / 4フープ:1,670mm
θ軸(回転JT2):325°
Z軸(上下JT3):380 mm
X軸(上下JT4):798 mm
F軸(回転JT5):156°
 
ロボットアプリケーション
 
クリーンルーム

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設計図

Industrial Machinery Export Bilbao, S.L.
Polígono Ugaldeguren III, nó 32, Pabellón 1
48170-Zamudio (Vizcaya) Spain
Tel. 0039 3387620171
0039 3395310971
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matteotenti@eurobots.com
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Last updated: 26 Mar, 2024