川崎洁净室NX510

NX510是一个机器人,它具有刚性的臂结构,可以很容易地到达晶圆的台阶,空间狭小,以及FOUP在任意位置。可以与2个或3个FOUP无轨道使用,满足ISO 1级标准的SEMI-F47系统即刻解决电压恢复时自动系统的电压下降和重启,标准SEMI-S2保护环境和人身安全,防撞系统,线性度高,定位精度高。

控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的占地面积,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,全轴统一伺服放大器,标准环境,健康安全SEMI S2,白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
  • 伺服完整的数字系统
  • 受控轴:最多7轴
  • 手动,半自动,全自动教学。
  • 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
  • 硬件:RS232C x 1以太网。
  • 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
  • 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
  • 输入信号:最多16个通道。
  • 输出信号:最多8个通道
  • 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
D61控制器的规格
  • 伺服完整的数字系统
  • 受控轴:最多12个轴
  • 手动,半自动,全自动教学。
  • 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
  • 硬件:RS232C x 2以太网。
  • 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
  • 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
  • 输入信号:最多96个通道
  • 输出信号:最多80个通道
  • 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV

主要规格

轴数:4
ISO 1级
链接:2
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
 
运动范围(°)
 
θ轴
(旋转JT2)
330°
440毫米
Z轴
(上下JT3)
832毫米
336°
X轴
(进/出JT4)
 
W轴 - 较低
(旋转JT6)
-
W轴 - 上
(旋转JT7)
 

机器人应用

整理房间

无现货

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图表

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最近更新: 26 Mar, 2024